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Micro e nano strutture
Fondazione Bruno Kessler
Trento, Italia
Clean Room MEMS 200 m2 Classe 100/1000 Diffusione, litografia (allineatore maschera), waferbonding, galvanizzazione, Si micromachining bulk, evaporazione metallica, RIE, meccanica e ottica profilometrica
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- Titolo: Micro e nano strutture
- Diritti: FBK photo archive. Picture by Carlo Baroni
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